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本实用新型涉及了一种针对晶圆、印制线路板的处理系统，其包括：等离子活化装置、电镀装置、机械手。其中，等离子活化装置包括清洗腔体，用来对通过机械手夹持的晶圆或印制线路板进行在线清洗。清洗腔体为非密封腔体，处于自然条件下常温常压状态。这样一来，...
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