下载一种传感器刻蚀装置的技术资料

文档序号:20151208

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本实用新型公开了一种传感器刻蚀装置,包括加温板、挡液板架、上挡液板、下挡液板、刻蚀反应箱,所述刻蚀反应箱内部顶端设置有所述加温板,所述刻蚀反应箱顶端设置有第一雾化管,所述第一雾化管一侧设置有旋转电机,所述旋转电机一侧设置有第二雾化管,所述旋...
该专利属于方高健所有,仅供学习研究参考,未经过方高健授权不得商用。

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