温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述...
该专利属于江苏纳沛斯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏纳沛斯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。