一种晶圆外观检测机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶端设置有活动板，所述活动板的内部开设有固定槽，所述固定槽的一侧设置有吹尘枪本体，所述吹尘枪本体的一侧设置有安装卡块；本实用新型专利技术通过安装气泵和吹尘枪，通过气泵压缩的空气将气体输送到吹尘枪中，从而对检测台进行清理，吹尘枪通过卡合固定在活动板上，可以将吹尘枪卸下手动进行清理，安装拆卸更加方便，通过转动活动板来改变吹尘枪的清理方向，使得清理效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆外观检测机
本技术属于晶圆检测
，具体涉及一种晶圆外观检测机。
技术介绍
圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，晶圆一般被做成直径6英寸，8英寸或者12英寸的圆柱形棒，在对晶圆进行生产时，为了保证晶圆的生产质量，大多会通过检测机对晶圆外观进行检测。现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题，为此我们提出一种晶圆外观检测机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆外观检测机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的晶圆检测机不使用时，检测台上会占有灰尘，需要对检测台进行清理，防止灰尘粘附在晶圆表面上，在检测时，会影响检测的效果，现有的检测机大多为安装清理装置，清理时比较麻烦的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆外观检测机，包括清理装置，所述清理装置包括固定台、底座、固定板、吹尘枪本体和气泵，所述固定台的上表面开设置有固定滑槽，所述固定板的底端设置有固定卡块，所述固定板和固定台通过卡合连接，所述固定板的顶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆外观检测机，包括清理装置，其特征在于：所述清理装置包括固定台（2）、底座（4）、固定板（9）、吹尘枪本体（8）和气泵（14），所述固定台（2）的上表面开设有固定滑槽（13），所述固定板（9）的底端设置有固定卡块（17），所述固定板（9）和固定台（2）通过卡合连接，所述固定板（9）的顶端设置有活动板（15），所述活动板（15）的内部开设有固定槽（16），所述固定槽（16）的一侧设置有吹尘枪本体（8），所述吹尘枪本体（8）的一侧设置有安装卡块（18），且所述吹尘枪本体（8）的另一侧设置有吹尘枪枪头（12），所述底座（4）的上表面设置有气泵（14），所述气泵（14）和吹尘枪本体（8）通过...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆外观检测机，包括清理装置，其特征在于：所述清理装置包括固定台（2）、底座（4）、固定板（9）、吹尘枪本体（8）和气泵（14），所述固定台（2）的上表面开设有固定滑槽（13），所述固定板（9）的底端设置有固定卡块（17），所述固定板（9）和固定台（2）通过卡合连接，所述固定板（9）的顶端设置有活动板（15），所述活动板（15）的内部开设有固定槽（16），所述固定槽（16）的一侧设置有吹尘枪本体（8），所述吹尘枪本体（8）的一侧设置有安装卡块（18），且所述吹尘枪本体（8）的另一侧设置有吹尘枪枪头（12），所述底座（4）的上表面设置有气泵（14），所述气泵（14）和吹尘枪本体（8）通过气管连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆外观检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乔栋，孙健，陈业，李锋，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32