下载一种坩埚及坩埚架转移装置的技术资料

文档序号:20145927

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本发明公开一种坩埚及坩埚架转移装置,连接座固定安装在机械手上,通过机械手带动移动位置;连接座上安装直线开合装置,直线开合装置上安装两组夹爪,直线开合装置能够带动两组夹爪沿直线相对靠拢和分离;两组夹爪分离的最远间距大于坩埚的直径,夹爪相互靠近...
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