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蜂窝形晶粒切割装置。涉及晶片加工技术领域。提供了一种能耗小成本低且能切割不同厚度晶圆的蜂窝形晶粒切割装置。蜂窝形晶粒切割装置，包括上工作台和设于所述上工作台正下方的下工作台，所述上工作台由直线驱动装置驱动，所述上工作台上设有切割装置，晶圆置...
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