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本发明提供流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质。流体控制装置能够在脉冲控制中在各打开期间对经过阀的流体的流量或压力实现比以往更高的控制精度，控制机构包括：脉冲信号发生器，向第一阀输入具有预定的脉冲高度和预定的脉冲宽度的脉冲信号；反馈值算...
该专利属于株式会社堀场STEC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。

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