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在本发明实施例提供的一种物料的定位提升系统及检测设备中，通过对定位装置、提升装置和安全导向装置进行优化设计，当物料到达时，定位装置对物料进行精确定位、提升装置提升物料与传送台分离，进而消除检测时传送台振动对检测精度的影响，物料检测时，传送台...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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