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本发明涉及一种气压控制恒定压力自适应抛光磨头，包括主轴轴套、连接法兰、紧固螺钉、紧定螺钉、活塞、密封圈、直线轴承、滚子、工具主轴、限位法兰、磨盘基底、柔性层、抛光层；所述活塞、工具主轴同轴紧密配合，实现保证气密性的滑动连接；气压通过主轴轴套...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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