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本发明提供的一种抛光头、抛光设备以及抛光头的使用方法，涉及化学机械抛光设备技术领域，包括：基体；基体压环安装在基体内并与基体连接；通气隔板与基体通过螺旋管连接，并套设在基体压环外；柔膜压板与通气隔板连接，并套设在基体压环外；内隔膜套设在基体...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。