下载晶圆修剪刀片的技术资料

文档序号:20123936

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本发明涉及半导体设备制造技术领域,公开了一种晶圆修剪刀片,上述的晶圆修剪刀片包括主体部和刀刃部,主体部呈一端开口、一端封闭的圆筒状结构,刀刃部设置在主体部的开口端且用于修剪晶圆的边缘。根据本发明提供的晶圆修剪刀片,能够利用设置于主体部即圆筒...
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