下载热位移修正装置的技术资料

文档序号:20123850

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本发明提供一种热位移修正装置,其修正由于工件的热位移而引起的尺寸测量误差,其具备对检查工件时的形状测量数据进行学习的机器学习装置。该机器学习装置观测表示工件的温度分布的图像数据以及加工后的形状数据来作为表示环境的当前状态的状态变量,此外取得...
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