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本发明提供了一种晶圆清洗装置，用于对晶圆进行清洗，该晶圆清洗装置包括：主体部；清洗部，清洗部可转动地安装在主体部上，清洗部具有清洗面，晶圆至少部分地可与清洗面接触，清洗部转动以对晶圆进行清洗；清理部，清理部设置在主体部上，清理部抵接在清洗部...
该专利属于中电海康集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电海康集团有限公司授权不得商用。

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