下载使用声能处理基板的系统、设备和方法的技术资料

文档序号:20120698

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本发明涉及一种使用声能处理基板的系统、设备和方法。在一个方面,本发明可以是处理扁平制品的系统,包括:支架,其支撑扁平制品;分配器,其将液体施加到扁平制品的第一表面;换能器组件,其包括:具有纵向轴线的传输结构;第一组换能器在纵向轴线的第一侧以...
该专利属于北方华创艾可隆公司所有,仅供学习研究参考,未经过北方华创艾可隆公司授权不得商用。

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