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一种基于悬臂式MPEG的微型自供能装置制造方法及图纸
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下载一种基于悬臂式MPEG的微型自供能装置的技术资料
文档序号:20117779
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本发明提供一种基于悬臂式MPEG的微型自供能装置,其特征在于,包括:压电结构的硅基底面通过耦合框架耦合到框架上构成悬臂式结构;压电结构包括硅基、置于硅基上的上电极和下电极以及夹在上电极和下电极之间的产生电能的压电膜;框架具有预设尺寸的开口腔...
该专利属于大连海事大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连海事大学授权不得商用。
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