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本发明属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，涉及飞秒激光加工参数分光瞳共焦Raman光谱原位监测方法与装置。本发明将高分辨的分光瞳共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用分光瞳共焦曲线最大值点对样品轴向位置进行纳米级监测和...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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