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用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置制造技术
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下载用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置的技术资料
文档序号:20111247
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一种光学编码器配置包括照明部分、标尺和光电检测器配置。照明部分将源光传输至将周期性标尺光图案输出至光电检测器配置的标尺。光电检测器配置包括沿着横向于测量轴的方向以空间相位序列布置的N个空间相位检测器的集合,并且空间相位序列包括在沿着横向于测...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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