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本发明公开了一种基于光神经网络的超精密位移测量系统。该系统包括：光源、光学位移测量器件、光神经网络、探测器阵列、信号处理器件，当目标物体发生运动时，系统将光学位移测量器件输出的测量光信号作为信号输入，通过光神经网络处理后利用探测器阵列接收，...
该专利属于清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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