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本实用新型公开了一种硅片载舟翻转推送机构，包括竖直设置的基板，安装在所述基板上的夹紧翻转组件和顶升推送组件，所述夹紧翻转组件用于夹持竖立的硅片载舟，并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态，同时放置至所述顶升推送组件上，所述夹紧翻转组件包括连接在...
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