【技术实现步骤摘要】
一种硅片载舟翻转推送机构
本技术涉及晶体硅太阳能电池领域,具体涉及一种硅片载舟翻转推送机构。
技术介绍
晶体硅太阳能电池生产中的某些工序需要将太阳能电池硅片装入至硅片载舟上进行,如在PECVD工艺中,硅片需由石墨舟装载后进行镀减反射膜的操作,在硅片扩散处理中,硅片需由石英舟装载后进行扩散以制作P-N结等,硅片载舟在硅片的加工过程中起着举足轻重的作用。实际生产中,硅片载舟存放部的硅片载舟通常为竖立放置,将硅片载舟从所述存放部运送至下一指定工位,需要将该处于竖立放置状态的硅片载舟翻转至水平放置状态并推送至设定位置,以便于后续的装片等相关操作。现有技术中,使处于竖立放置状态的硅片载舟翻转至水平放置状态及推送至设定位置是通过人工手动操作完成的,耗费人力、效率低下,不利于自动化生产,而且操作不当容易出现硅片载舟损坏、污染等问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于晶体硅太阳能电池制造中的硅片载舟翻转推送机构,以提高硅片载舟的翻转推送效率。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:提供一种硅片载舟翻转推送机构,包括竖直设置的基板,在所述基板的左侧安装有顶升推送组件,在所述基板 ...
【技术保护点】
1.一种硅片载舟翻转推送机构,其特征在于,包括竖直设置的基板,在所述基板的左侧安装有顶升推送组件,在所述基板的右侧安装有夹紧翻转组件,其中,夹紧翻转组件:用于夹持竖立的硅片载舟,并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态,同时将该水平的硅片载舟放置至所述顶升推送组件上;包括连接在所述基板上的第一基座、安装在所述第一基座上的夹紧组件和电机,所述电机可驱动所述夹紧组件旋转;所述夹紧组件包括水平设置的底板、竖直设置的第一侧板、第二侧板以及由所述底板、第一侧板和第二侧板限定出的舟容置部;顶升推送组件:用于将所述水平的硅片载舟推送至设定位置并顶起;包括连接在所述基板上的第二基座和设在所述第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种硅片载舟翻转推送机构,其特征在于,包括竖直设置的基板,在所述基板的左侧安装有顶升推送组件,在所述基板的右侧安装有夹紧翻转组件,其中,夹紧翻转组件:用于夹持竖立的硅片载舟,并将该竖立的硅片载舟翻转至水平状态,同时将该水平的硅片载舟放置至所述顶升推送组件上;包括连接在所述基板上的第一基座、安装在所述第一基座上的夹紧组件和电机,所述电机可驱动所述夹紧组件旋转;所述夹紧组件包括水平设置的底板、竖直设置的第一侧板、第二侧板以及由所述底板、第一侧板和第二侧板限定出的舟容置部;顶升推送组件:用于将所述水平的硅片载舟推送至设定位置并顶起;包括连接在所述基板上的第二基座和设在所述第二基座下侧的顶升气缸,所述顶升气缸可驱动所述第二基座沿所述基板上下滑行;在所述第二基座上设有推送组件,所述推送组件包括安装在所述第二基座上用于放置所述水平的硅片载舟的第一支撑板及设置在所述第一支撑板下侧、用于驱动所述第一支撑板相对所述第二基座前后运行的第一气缸。2.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构,其特征在于,所述夹紧翻转组件还包括与所述电机相连的传动轴,所述夹紧组件穿设在所述传动轴上。3.根据权利要求1所述的硅片载舟翻转推送机构,其特征在于,在所述第二侧板的末端连接有卡紧件,所述卡紧件包括竖直连接在所述第二侧板末端的连接部及水平安装在所述连接部末端的水平卡突,所述水平卡突和所述底板从上下两侧夹持置于所述舟容置区的硅片载舟。4.根据权利要求3所述的硅片载舟翻转推送机构,其特征在于,在所述底板底部连接有夹紧气...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘加永,戴秋喜,
申请(专利权)人:苏州映真智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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