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本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱。包括：进风装置，用于将空气冷却并引入腔室内；腔室，其设置在所述进风装置的一侧，并与所述进风装置连接，在所述腔室内设有单晶硅片载物架，在所述腔室前端面设有进料口，腔室用于放置和固定待冷却的单晶硅片；以及...
该专利属于锦州神工半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锦州神工半导体股份有限公司授权不得商用。

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