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本实用新型公开了一种碳化硅籽晶片的粘合装置,包括底板,腔体的内部固定安装有伺服电机,伺底座的顶端设有加热板,加热板的顶端设有石墨盖,第一滑槽的内部滑动连接有限位杆,第二支板的顶端设有光学显微镜,底板顶端的另一侧设有箱体,箱体的内部开设有碳胶...该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种碳化硅籽晶片的粘合装置,包括底板,腔体的内部固定安装有伺服电机,伺底座的顶端设有加热板,加热板的顶端设有石墨盖,第一滑槽的内部滑动连接有限位杆,第二支板的顶端设有光学显微镜,底板顶端的另一侧设有箱体,箱体的内部开设有碳胶...