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本发明涉及后分光瞳共焦Raman‑LIBS‑质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，可用于复杂微细结构的飞秒激光加工与形态性能综合参数原位检测。本发明将后置分光瞳激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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