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后置分光瞳激光共焦LIBS光谱-质谱显微成像方法与装置制造方法及图纸
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文档序号:20093897
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本发明公开的后置分光瞳激光共焦LIBS光谱‑质谱显微成像方法与装置,属于共焦显微成像、光谱成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合,利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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