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具有用于改进的访问电阻的V形槽S/D轮廓的III-V族FINFET晶体管制造技术
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下载具有用于改进的访问电阻的V形槽S/D轮廓的III-V族FINFET晶体管的技术资料
文档序号:20084028
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一种装置,包括晶体管器件,所述晶体管器件包括主体,所述主体包括在源极区和漏极区之间的沟道区;以及在沟道区中的主体上的栅极叠层,其中,主体的源极区和漏极区中的至少一个包括相对侧壁之间的接触表面,并且接触表面包括轮廓,使得接触表面的高度尺寸在侧...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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