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沉淀氟氧化钇的清洁工艺制造技术
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下载沉淀氟氧化钇的清洁工艺的技术资料
文档序号:20083986
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一种方法,所述方法包括使包含钇基氧化物的制品浸没在包含水和1摩尔%~10摩尔%的HF酸的酸性清洁溶液中。所述HF酸会溶解部分的所述钇基氧化物。基于所述HF酸与所述钇基氧化物的已溶解部分之间的反应而形成钇基氟氧化物。所述钇基氟氧化物沉淀在所述...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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