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微型装置的无掩模并行取放转印制造方法及图纸
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下载微型装置的无掩模并行取放转印的技术资料
文档序号:20083739
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表面安装微型装置的方法包含:将供体基板上的第一多个微型装置粘附至具有粘合剂层的转印表面上;在第一多个微型装置保持粘附在转印表面上的同时从供体基板移除第一多个微型装置;相对于目标基板定位转印表面使得转印表面上的多个微型装置的子集邻接目标基板上...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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