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附着物收集装置以及检查系统制造方法及图纸
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下载附着物收集装置以及检查系统的技术资料
文档序号:20083618
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为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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