In order to stably peel off the material from the object of inspection, the utility model is characterized by an ejector (n), a box (B) with an ejector (n), and a supporting part (H) with an ejector (n) and a predetermined height, which is arranged on the surface of the box (B). In addition, the supporting part (H) is formed in the convex shape part of the box body (B). In addition, the supporting part (H) has a cuboid shape and is set to shorten the distance from each other along the direction of the recovery port of the substance stripped from the object (C) for gas recovery.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】附着物收集装置以及检查系统
本专利技术涉及将附着于检查对象物的物质剥离并收集的附着物收集装置以及检查系统的技术。
技术介绍
在光学领域、环境领域等中,对附着于检查对象物的附着物的物质进行分析。尤其是,为了在环境领域内把握环境污染的状态,需求迅速、实时地计测且高灵敏度地计测附着物的分析装置。并且,在工业领域中以生产工序的管理、品质管理作为目的,需求迅速、实时地计测且高灵敏度地计测附着于工业产品的附着物成分的分析装置。例如,专利文献1中公开分析装置以及分析方法,即“其特征在于,具备:使附着于对象的试料剥离的送气部;对从上述对象剥离出的试料进行吸引的吸气部;使上述所吸引到的试料浓缩并捕集的微粒子捕集部;从上述微粒子捕集部导入试料并使之离子化的离子源部;对上述离子源部所生成的离子进行质量分析的质量分析部;控制上述离子源部和上述质量分析部的控制部;保存出自检测对象物质的质谱数据的数据库部;以及对照上述质量分析部的试料的质量分析结果与保存于上述数据库部的质谱数据来判定上述检测对象物质的有无的判定部”(参照权利要求1)。并且,例如,专利文献2中公开分析装置,即“其特征在于,具备 ...
【技术保护点】
1.一种附着物收集装置,其特征在于,具备:具有多个喷出气体的喷出口的面;使对象物从上述面分离的隔离物;以及回收朝向上述对象物喷出的上述气体的回收口,利用上述气体来收集附着于上述对象物的附着物。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.30 JP 2016-1079721.一种附着物收集装置,其特征在于,具备:具有多个喷出气体的喷出口的面;使对象物从上述面分离的隔离物;以及回收朝向上述对象物喷出的上述气体的回收口,利用上述气体来收集附着于上述对象物的附着物。2.根据权利要求1所述的附着物收集装置,其特征在于,上述面配备于箱体的内部空间,上述内部空间是收纳上述对象物的空间,上述隔离物作为支撑部而构成,该支撑部以确保上述对象物离上述面预定高度的方式支撑上述对象物。3.根据权利要求2所述的附着物收集装置,其特征在于,上述支撑部是形成于上述箱体的凸形状部。4.根据权利要求3所述的附着物收集装置,其特征在于,上述支撑部具有长方体形状,并且,设置为随着朝向回收因上述气体而从对象物剥离出的附着物的回收口的方向,彼此的距离变短。5.根据权利要求2所述的附着物收集装置,其特征在于,上述支撑部的高度在从上述喷出口喷出的上述气体的势流核心区内。6.根据权利要求2所述的附着物收集装置,其特征在于,上述支撑部具有网状物构造。7.根据权利要求2所述的附着物收集装置,其特征在于,上述支撑部是设于上述箱体内侧的侧面的凹形状部。8.根据权利要求2所述的附着物收集装置,其特征在于,在上述箱体中,在供上述对象物插入的插...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊野峻,杉山益之,永野久志,生井诚,伊藤孝广,
申请(专利权)人:株式会社日立制作所,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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