下载一种光敏电容及其制作方法的技术资料

文档序号:20078879

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本发明提供了一种光敏电容及其制作方法。光敏电容包括:衬底、注入层、氧化隔离层、第一电容和第二电容;在衬底的一侧设置注入层并在注入层上覆盖氧化隔离层;第一电容的一个极板设置在氧化隔离层上,且通过氧化隔离层与注入层电连接;第二电容的一个极板设置...
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