下载薄膜晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:20078843

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本发明提供一种薄膜晶体管及其制作方法。该薄膜晶体管包括:衬底基板、设于衬底基板上并间隔设置的第一栅极及第二栅极、覆盖所述衬底基板、第一栅极及第二栅极的栅极绝缘层、设于栅极绝缘层上的有源层以及设于有源层上并间隔设置的第一源/漏极、第二源/漏极...
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