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本发明提供辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置。提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就能增大所引出的离子束流强，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。在平板状的固体试样(30)和用于保持该固体试样的柱塞(16)之间...
该专利属于辉光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过辉光科技有限公司授权不得商用。

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