辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置。提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就能增大所引出的离子束流强，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。在平板状的固体试样(30)和用于保持该固体试样的柱塞(16)之间配置有圆形且是平板状的第1磁体(15)，在形成放电区域的单元主体(21)的离子引出口侧配置有环状的第2磁体(26)，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式与所述第1磁体同轴配置，第1磁体和第2磁体以磁化方向与引出离子束的方向平行且磁极彼此朝向相反方向的方式配置，从而当在放电区域产生了辉光放电时，利用由第1磁体和第2磁体形成的磁场增大所引出的离子束流强。

Glow Discharge System and Glow Discharge Mass Spectrometry Device Using it

The invention provides a glow discharge system and a glow discharge mass spectrometry device using the glow discharge system. A glow discharge mass spectrometry (GDMS) device with higher analysis accuracy and higher ion beam current intensity can be obtained by changing the device structure and driving conditions of the previous GDMS system slightly. A circular and flat first magnet (15) is arranged between a flat solid sample (30) and a plunger (16) used to maintain the solid sample, and a circular second magnet (26) is arranged at the ion lead exit side of the unit body (21) forming the discharge region. The second magnet is coaxially arranged with the first magnet in a manner surrounding the discharge region, and the first magnet and the second magnet are magnetized in the direction of magnetization. When glow discharge occurs in the discharge area, the ion beam current intensity is increased by increasing the magnetic field formed by the first magnet and the second magnet.

【技术实现步骤摘要】
辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置
本专利技术涉及平板单元(英文：flatcell)式的辉光放电系统以及使用了该辉光放电系统的辉光放电质谱装置。
技术介绍
作为金属、半导体、绝缘物等各种固体试样的分析装置，已知一种辉光放电质谱装置(GDMS)。该分析装置是利用辉光放电对固体试样表面进行溅射，并在质谱仪中对离子化后的该固体试样的构成原子进行测量的装置。如专利文献1所公开的那样，在所述分析装置中具有辉光放电系统，以使固体试样的表面暴露在放电单元内的方式配置固体试样，向该放电单元内导入惰性气体，产生辉光放电从而对所述固体试样进行溅射，使放出的原子在放电单元内离子化并将其作为离子束自设于该放电单元的开口部引出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-220360号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在辉光放电质谱装置中，为了提高分析精度，希望增大自辉光放电系统引出的离子束的流强(离子量)。本专利技术的要解决的问题在于，提供一种不大幅地改变以往的辉光放电系统的装置结构、驱动条件，就能增大所引出的离子束流强，并且分析精度更高的辉光放电质谱装置。用于解决问题的方案本专利技术的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种辉光放电系统，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统包括：样品保持件，其具有开口部，并且具备保持构件，该保持构件以使平板状的固体试样的一个主面朝向所述开口部的方式自该固体试样的与所述开口部所在侧相反的一侧保持该固体试样；以及放电单元，其与所述样品保持件的所述开口部侧相邻，具有配置在与所述开口部所在侧相反的一侧的离子引出口，用于形成放电区域，该辉光放电系统的特征在于，在所述保持构件的用于保持所述固体试样的那一侧设有圆形且是平板状的第1磁体，在所述放电区域的所述离子引出口侧设有环状的第2磁体，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式埋入所述放电单元，并与所述第1磁体同轴配置，所述第...

【技术特征摘要】
2018.04.03 JP 2018-0712721.一种辉光放电系统，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统包括：样品保持件，其具有开口部，并且具备保持构件，该保持构件以使平板状的固体试样的一个主面朝向所述开口部的方式自该固体试样的与所述开口部所在侧相反的一侧保持该固体试样；以及放电单元，其与所述样品保持件的所述开口部侧相邻，具有配置在与所述开口部所在侧相反的一侧的离子引出口，用于形成放电区域，该辉光放电系统的特征在于，在所述保持构件的用于保持所述固体试样的那一侧设有圆形且是平板状的第1磁体，在所述放电区域的所述离子引出口侧设有环状的第2磁体，该第2磁体以围绕所述放电区域的方式埋入所述放电单元，并与所述第1磁体同轴配置，所述第1磁体和所述第2磁体以磁化方向与自所述开口部朝向离子引出...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥孝广，
申请(专利权)人：辉光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP