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本实用新型涉及一种原位置检测装置，包括：测量头、驱动机构以及检测腔体；检测腔体上设置有第一光学观察孔，测量头上设置有第二光学观察孔；检测腔体上开设有用于供测量头通过的开口；检测腔体上还设置有屏蔽门，驱动机构与屏蔽门连接，用于驱动屏蔽门相对于...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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