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本实用新型涉及芯片制备技术领域，且公开了一种蓝宝石芯片ICP上料设备，包括反应室主体，所述反应室主体外侧壁的顶部和底部均固定连接有安装板，两个所述安装板的相对面分别与感应线圈的顶部和底部固定连接，所述感应线圈内部固定套接在反应室主体的外侧壁...
该专利属于锐捷光电科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐捷光电科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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