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本实用新型涉及蚀刻机技术领域，且公开了一种蓝宝石芯片用的蚀刻载盘，包括设备壳体，所述设备壳体内壁的上表面固定连接有固定块，所述固定块的上表面固定连接有第一轴承，第一轴承的内壁固定连接有连接块，所述连接块的右侧面固定连接有第一螺纹杆，第一螺纹...
该专利属于锐捷光电科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐捷光电科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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