下载具有增透钝化层的纳米孔LED阵列芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:20048084

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本发明公开具有增透钝化层的纳米孔LED阵列芯片及其制备方法。本发明的LED阵列芯片,由N×N个发光单元组成,每个发光单元的阳极单独引出,所有发光单元共阴极;发光单元的有源区具有较深的纳米孔,纳米孔的深度超过量子阱层;GaN材料表面的介质薄膜...
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