温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种TFT阵列基板的检测方法及装置,检测方法包括:在待检测的TFT阵列基板上方设置包含多个金属片的量测头,使得量测头与TFT阵列基板之间形成电容效应,多个金属片阵列排布且位于同一平面上;输出栅极扫描信号至TFT阵列基板上的扫描线,...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种TFT阵列基板的检测方法及装置,检测方法包括:在待检测的TFT阵列基板上方设置包含多个金属片的量测头,使得量测头与TFT阵列基板之间形成电容效应,多个金属片阵列排布且位于同一平面上;输出栅极扫描信号至TFT阵列基板上的扫描线,...