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镀膜系统及镀膜玻璃的制造方法技术方案
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下载镀膜系统及镀膜玻璃的制造方法的技术资料
文档序号:20038594
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本发明涉及一种镀膜系统及镀膜玻璃的制造方法。一种镀膜系统,包括真空室,以及设置在真空室的溅射靶台、基板台、电场装置及磁场装置,磁场装置包括第一磁场装置和第二磁场装置,第一磁场装置、基板台、溅射靶台、第二磁场装置位于电场装置产生电场的区域内,...
该专利属于江西沃格光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西沃格光电股份有限公司授权不得商用。
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