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一种投影曝光装置，具有：滑动载物台(120)，形成有用于载置工件的多个区域(110、111)；第一装载器(310)和第二装载器(311)，能够装载以及卸载工件(510、511)；第一位置检测设备(210)；第二位置检测设备(211)；控制光...
该专利属于萨玛精密股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过萨玛精密股份有限公司授权不得商用。

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