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物理量测定装置及其制造方法、以及物理量测定元件制造方法及图纸
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下载物理量测定装置及其制造方法、以及物理量测定元件的技术资料
文档序号:20021998
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提供一种使接合层的接合温度降低到不影响半导体芯片动作的温度,确保半导体芯片和基台的绝缘性的物理量测定装置。包括:基台(隔膜(14b));基于作用于基台的应力来测定物理量的半导体芯片(应变检测元件(30));将半导体芯片接合到基台的接合层(2...
该专利属于日立汽车系统株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立汽车系统株式会社授权不得商用。
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