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本发明公开了一种基于图像处理和线性回归的原子力显微镜光路自动调整方法，首先在原子力显微镜的探针架上装设可通过计算机控制进行二维方向上移动的电机，然后利用电机进行光路的自动调整，所述自动调整包括标定阶段和实施阶段。本发明通过在原子力显微镜系统...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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