下载一种基于金属粒子与吸附粒子交联的器件封装方法的技术资料

文档序号:20009260

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本发明公开一种基于金属粒子与吸附粒子交联的器件封装方法,其中,方法包括步骤:预先使器件的金属电极表面与吸附粒子接触;将所述金属电极放入HHIC反应器中并通入H2,所述H2电离后形成H等离子,通过所述H等离子使金属电极上的金属粒子与吸附粒子发...
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