下载一种TOPCon结构电池的制备方法的技术资料

文档序号:20009045

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本发明涉及一种TOPCon结构电池的制备方法,包括如下步骤:①清洗、制绒;②硼扩制备pn结,并进行高温处理;③高温处理后控制温度至850‑900℃,通入氧气在硅片表面生长一层BSG层,其厚度大于等于50nm;④以硼扩层为正面,对背面进行单面...
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