下载半导体装置和制造半导体装置的方法的技术资料

文档序号:20008872

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本公开涉及半导体装置和制造半导体装置的方法。半导体装置的特性得到改善。一种半导体装置,包括:缓冲层、沟道层和阻挡层的顺序堆叠,并且包括:包括形成在堆叠之上的第四氮化物半导体层的台面部分,以及形成在台面部分的两侧并包括第四氮化物半导体层的薄膜...
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