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场效应晶体管、生物传感器及其制造方法技术
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文档序号:20008849
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提供一种能够减小噪声、通过简化的制造方法进行制造并且还具有根据检测目的而被设计为可组合的多个有源图案和多个栅极图案的场效应晶体管、包括该场效应晶体管的生物传感器、制造该场效应晶体管的方法以及制造该生物传感器的方法。所述场效应晶体管包括:下硅...
该专利属于韩国科学技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过韩国科学技术研究院授权不得商用。
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