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本发明提供了一种TFT阵列基板，包括：基板和依次设置于基板上的遮光层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极层、层间绝缘层、源极、漏极、钝化层；当栅极层的材质为铜，层间绝缘层的材质为氧化物时，栅极层的表面还设有第一保护层；和/或，当源极、漏极的材...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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