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固态摄像元件及其制造方法技术
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文档序号:20008691
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本发明提供一种固态摄像元件及其制造方法,在具有沿纵向层叠的两个以上半导体衬底的固态摄像元件中,通过微细的插塞将半导体衬底彼此之间电连接。将覆盖具有受光元件的半导体衬底(SB1)的第一背面的绝缘膜(IF1)与覆盖搭载有半导体元件的半导体衬底(...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。
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