下载阵列基板的制作方法及阵列基板的技术资料

文档序号:20008666

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本发明提供了一种阵列基板的制作方法及阵列基板,包括:提供一基板,所述基板包括经图案化的半导体层;在所述半导体层上依次形成第一栅绝缘层、所述第一栅极层、所述第二栅绝缘层和所述电容金属层;采用一道光罩工艺将所述第一栅极层、第二栅绝缘层和所述电容...
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