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本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法。本发明的TFT阵列基板的制作方法，将有源层设置为双层结构，其中第一有源层采用碳纳米管、石墨烯、碳化硅、二硫化钼或有机半导体材料的新型半导体材料，第二有源层设置在第一有源层之上既可以作为蚀刻阻挡层保护...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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